簡(jiǎn)要描述：

MetOne標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置
氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序
校正所需設(shè)備：
100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，如 Metone3400
各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如 0.3um 0.5um 1um 等等
標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255
可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置
其它普通電器，如 220

詳細(xì)介紹

MetOne 255標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置

氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序

校正所需設(shè)備：

100 級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)

一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，如 Metone3400

各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如 0.3um  0.5um  1um 等等

標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如 Model 255

可產(chǎn)生脫離水（ DI 水）的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置

  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬(wàn)用表等等

校正的基本原理

標(biāo)準(zhǔn)粒子（如 0.301um ）通過(guò) 255 粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過(guò) 0.2um 的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試，并比校 0.3um 粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在 20% 以?xún)?nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。

三 . 校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的 Metone227B 作校正

首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測(cè)試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

首先，請(qǐng)將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開(kāi) Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時(shí)。

  準(zhǔn)備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。

  設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)

取樣時(shí)間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00

取樣次數(shù)都設(shè)置 03

取樣模式都設(shè)置為 Auto

間隔時(shí)間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05

讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測(cè)試結(jié)果會(huì)是 Metone227B 的 10 倍。

此時(shí)，打開(kāi) 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約 60SCFH 時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。

此時(shí)，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以?xún)?nèi)，視為合格。

拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測(cè)試。
  以上校正只是對(duì)比校正，尚可用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。

價(jià)格說(shuō)明

一般情況下：: 劃線價(jià)格：劃線的價(jià)格可能是商品的銷(xiāo)售指導(dǎo)價(jià)或該商品的曾經(jīng)展示過(guò)的銷(xiāo)售價(jià)等，并非原價(jià)，僅供參考。
未劃線價(jià)格：未劃線的價(jià)格是商品在阿里巴巴中國(guó)站上的銷(xiāo)售標(biāo)價(jià)，具體的成交價(jià)格根據(jù)商品參加活動(dòng)，或因用戶(hù)使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
活動(dòng)預(yù)熱狀態(tài)下：: 劃線價(jià)格：劃線的價(jià)格是商品在目前活動(dòng)預(yù)熱狀態(tài)下的銷(xiāo)售標(biāo)價(jià)，并非原價(jià)，具體的成交價(jià)可能因用戶(hù)使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
未劃線價(jià)格：未劃線的價(jià)格可能是商品即將參加活動(dòng)的活動(dòng)價(jià)，僅供參考，具體活動(dòng)時(shí)的成交價(jià)可能因用戶(hù)使用優(yōu)惠券等發(fā)生變化，終以活動(dòng)是訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)。
伙拼折上折活動(dòng)狀態(tài)下：: 該商品（部分規(guī)格除外）在伙拼折上折活動(dòng)期間內(nèi)，買(mǎi)家可享受伙拼折上折活動(dòng)優(yōu)惠價(jià)格（該價(jià)格較同時(shí)期伙拼日常活動(dòng)價(jià)格更優(yōu)惠）。

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請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

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